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用于半導(dǎo)體和硅的紅外輻射溫度計(jì) IR-CAT 介紹

發(fā)布時(shí)間:2024-01-31 點(diǎn)擊量:556

用于半導(dǎo)體和硅的紅外輻射溫度計(jì) IR-CAT 介紹

IR-CA系列是一款集成的固定式輻射溫度計(jì),配備數(shù)字溫度顯示、參數(shù)設(shè)置功能和測(cè)量值的外部輸出。
共有低溫型、中高溫型、高性能型、超寬型等通用型以及按用途劃分的17個(gè)型號(hào),兼容多種非接觸式測(cè)溫字段。

半導(dǎo)體/硅片溫度測(cè)量

可測(cè)量400℃至1200℃硅片溫度的輻射溫度計(jì)。采用使晶圓不透明的測(cè)量波長(zhǎng),減少加熱器對(duì)背面的影響

其他特性

  • 一體化結(jié)構(gòu),內(nèi)置數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設(shè)置功能,可通過(guò)主機(jī)操作

  • 精度高、響應(yīng)快、可靠性高

  • 可選配通訊接口 RS-485 (MODBUS)

  • 提供設(shè)置顯示,用于 IR-CA 的遠(yuǎn)程監(jiān)控和遠(yuǎn)程設(shè)置。
    可通過(guò)RS-485通訊進(jìn)行設(shè)置和顯示。

  • 準(zhǔn)備數(shù)據(jù)記錄軟件

  • 可選配保護(hù)殼、水冷板等配件,以適應(yīng)安裝環(huán)境。

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規(guī)格

模型用于半導(dǎo)體/硅
格式紅外貓
檢測(cè)元件
測(cè)量波長(zhǎng)0.6~0.96μm
測(cè)量溫度范圍400-800℃ (100)
500-1000℃ (200)
600-1200℃ (200)
準(zhǔn)確率評(píng)估200℃以下:±2℃
200℃以上:測(cè)量值的±1%
再現(xiàn)性0.5℃以內(nèi)
解決0.5℃
響應(yīng)時(shí)間0.04秒(95%)
測(cè)量直徑/測(cè)量距離可移動(dòng)焦點(diǎn)
測(cè)量距離:0.5m 至 ∞ 測(cè)量
直徑 = 測(cè)量距離/距離系數(shù)
距離系數(shù):100、200
瞄準(zhǔn)直接取景器
輸出信號(hào)4~20mA DC,隔離輸出(無(wú)電阻500Ω以下)
通訊接口RS-485(可選)
電源24V直流
能量消耗最大10VA
外形尺寸寬150x高110x深66mm
大量的約1.3公斤
其他的數(shù)據(jù)處理軟件:IR-VXC1


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